我们的一季度成绩单｜探秘沈阳IC装备“小巨人”部落

在沈阳市浑南区飞云路，一片外表朴实的厂房却承载着为中国“芯”显影的重大使命。成立于2002年的沈阳芯源微电子设备有限公司(下简称:沈阳芯源)，其产品在匀胶显影技术领域达到国际先进水平。

沈阳芯源作为首批国家专精特新“小巨人”企业，深耕半导体设备细分赛道，2021年实现营业收入8.29亿元，同比增长152%；2022年以来生产未受到新冠疫情的影响，订单持续增长。

紧邻沈阳芯源还有一家外表并不显眼的企业，当我们走进生产车间，映入眼帘的是一排排世界顶级的精密机床，正在纳米尺度上精雕细刻件件产品。这里的清洁度达万级，这里的加工精度以纳米为单位。这家名为沈阳富创精密设备有限公司(下简称：沈阳富创)的神秘企业，是IC装备精密零部件加工冠军型企业。

目前集成电路的线宽只有人们头发的十万分之一，这样精微的要求，几乎达到了机械制造的极限，沈阳富创潜心多年研发加工工艺，终于敲开了世界IC装备制造业的大门。

类似沈阳芯源、沈阳富创等企业，虽然体量不大，但却人员精干，在专项领域打破了国外对中国集成电路产业的技术封锁。在业内人士看来，这些专精特新型“小巨人”企业的聚集，充分发挥了自主创新、高质量发展的示范作用。

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